L'azote, un gaz courant dans la fabrication de puces

L'azote, un gaz courant dans la fabrication de puces

• L'azote, un gaz courant dans la fabrication de puces
• L’azote est largement utilisé dans la fabrication de puces, il est donc crucial de connaître ses utilisations et ses applications.
• I. Propriétés physiques de l'azote : Symbole chimique : N2
• Poids moléculaire : 28,01 (généralement considéré comme 28)
• Gravité spécifique : 0,967
• Point d'ébullition : -195,8 degrés (généralement considéré comme -196 degrés)
• Aspect : Incolore et inodore
• Inflammabilité : non-inflammable
• Sécurité : Purement asphyxiant et non-toxique, il ne présente généralement aucun risque. Cependant, des concentrations élevées peuvent provoquer une asphyxie due au manque d’oxygène. Faites attention aux fuites et assurez une ventilation adéquate.
• Réactivité : Très stable, presque non réactif. Cependant, il réagira à des températures élevées ou à des températures élevées et à des pressions élevées pour générer des nitrures.
• Matériaux applicables : il n'est pas-corrosif pour les métaux et peut être utilisé sur tous les métaux. Cependant, lors de la liquéfaction de l’azote, il convient de choisir des matériaux qui ne sont pas cassants à basse température. Presque tous les matériaux sont applicables, comme les plastiques, le caoutchouc, etc.

 

II. Utilisations de l'azote

(1). Génération d'azote : L'azote peut être extrait via un équipement de séparation de l'air. Il peut être facilement produit en grande quantité et à moindre coût en fonction de la pureté requise par l'usine et fourni par pipelines.

(2). Utilisations de l'azote : L'azote de nettoyage peut être utilisé pour nettoyer les impuretés et la saleté à l'intérieur et à l'extérieur des dispositifs à semi-conducteurs. Le nettoyage peut utiliser la forte action du flux d'air pour nettoyer rapidement l'appareil et réduire les dommages à l'appareil. Protection Lors de la production et du transport de dispositifs semi-conducteurs, les matériaux qu'ils contiennent doivent être protégés. L'azote, en tant que gaz inerte, peut jouer un rôle protecteur. Pendant l'emballage et le transport, de l'azote est utilisé pour sceller l'appareil afin d'éviter les effets indésirables tels que l'oxydation et la corrosion. L'azote sec peut être utilisé pour sécher les matériaux. Pendant le processus de séchage, l’azote élimine l’humidité superficielle et interne grâce à un flux d’air forcé. Il est couramment utilisé dans la fabrication de produits microélectroniques, de dispositifs optiques et de revêtements en poudre.

 

Dans la production de dispositifs semi-conducteurs, l’azote peut être utilisé comme oxydant pour les traitements d’oxydation de surface.

L'azote, en raison de sa stabilité et de sa disponibilité, peut maintenir l'uniformité de la surface du dispositif tout en améliorant l'efficacité de l'oxydation et en évitant les effets néfastes de l'oxygène.

 

La purge est utilisée pour purger les équipements et les gazoducs. Lors de la maintenance d'équipements utilisant des gaz toxiques, une purge à l'azote est effectuée au lieu d'ouvrir brusquement la chambre. Les travaux ne sont alors effectués qu'après s'être assurés de la sécurité.

 

L'ordre de purge du gazoduc est le suivant : gaz réel → purge à l'azote → atmosphère (l'ordre inverse après maintenance). La sécurité doit être assurée pour éviter toute contamination par l'air, l'oxygène ou d'autres gaz. La dilution a deux objectifs. La première consiste à contrôler le taux d’oxydation du film d’oxyde thermique, comme l’exige le processus d’oxydation par dilution. L'autre consiste à réduire la concentration des gaz d'échappement provenant de l'équipement pour garantir la sécurité. Par exemple, la dilution des gaz d'échappement du SiH4 et des alliages d'hydrogène réduit la concentration des gaz d'échappement à l'intérieur de la limite inférieure d'explosion pour garantir la sécurité. Les gaz de base sont généralement utilisés comme gaz de base dans les fours à diffusion. Les gaz de base sont également utilisés pour ajuster la concentration des bouteilles de gaz, par exemple en mélangeant du SiH4 avec 20 % d'azote. Les inspections de fuites sont également utilisées pour vérifier la tuyauterie et les systèmes C/C pour détecter les fuites dans les équipements de pressurisation d'azote.

 

Technologie de chauffage Xida : résoudre le dilemme de sécurité du traitement des gaz résiduaires des semi-conducteurs, garantir la continuité de la production et la sécurité des équipements

La fabrication de semi-conducteurs génère de grandes quantités de gaz résiduaires, dont beaucoup sont corrosifs, pyrophoriques ou potentiellement explosifs lorsqu'ils sont exposés à l'air. En règle générale, ces gaz sont dilués avec de l'azote (N₂) dès les premières étapes du traitement des gaz résiduaires pour garantir que les concentrations sont inférieures à la limite inférieure d'explosivité ou pour réduire les effets corrosifs.
Cependant, le mélange d’azote plus froid avec les gaz résiduaires accélère la condensation et, lorsque les dépôts s’accumulent, ils peuvent entraîner des temps d’arrêt imprévus. Chauffer l’azote est une meilleure option, mais seulement si de nouvelles fuites d’azote ne se produisent pas dans le système. Xida Heating Technology y parvient, ce qui signifie que les fabricants de semi-conducteurs n'ont plus à équilibrer les problèmes de sécurité avec les temps d'arrêt potentiels causés par des blocages du système d'échappement.

• La prévention des fuites réduit le risque d’explosion.
• La prévention de la condensation réduit les temps d'arrêt pour le nettoyage.
• Prévenir la corrosion des équipements de chauffage, réduisant ainsi le risque de panne de l'équipement.
• Les mises à jour des processus augmentent la distance parcourue par le gaz chauffé pour garantir une température constante des tuyaux sur de longues distances.
• La structure est mise à jour pour réduire la consommation d'énergie globale et économiser de l'électricité.